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一种背面软损伤后颗粒异常硅片的修复方法，其针对现有技术中因背损伤工艺产生的掉落颗粒的异常硅片，通过酸碱复合式预清洗、离子清洗、退火处理、颗粒清洗、表面抛光等步骤的协同配合和综合作用，可有效减轻异常硅片背面镶嵌的SiO<subgt;2&...
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