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本技术公开一种用于清洗基板载体的清洗装置。根据一个实施例的清洗装置可包括：壳体，其形成用于安装基板载体的安装空间；歧管，其配置于安装空间，以中心轴为中心在安装空间内可旋转；旋转部，其用于使得歧管旋转；流体供给部，其连接于歧管，向歧管的内部供...
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