下载半导体结构及其形成方法的技术资料

文档序号:41921140

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一种半导体结构及其形成方法,其中,形成方法包括:提供衬底;在所述衬底内形成初始电源线,所述初始电源线的材料包括非金属材料;在形成初始电源线之后,在所述衬底上以及衬底内形成器件结构;在所述衬底表面形成层间介质层,所述层间介质层位于所述器件结构...
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