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一种具有清洁装置的碳化硅抛光机制造方法及图纸
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下载一种具有清洁装置的碳化硅抛光机的技术资料
文档序号:41906344
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本技术涉及抛光设备技术领域,具体的公开了一种具有清洁装置的碳化硅抛光机,包括机体,机体的中部滑动设有换位板,换位板两端的内部均设有碳化硅件放置口,换位板两端的端部对应放置口通过螺杆安装有夹持架,机体内部的上下两端对应换位板的放置口均设有安装...
该专利属于无锡云岭半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡云岭半导体有限公司授权不得商用。
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