【技术实现步骤摘要】
本技术涉及抛光设备，尤其涉及一种具有清洁装置的碳化硅抛光机。
技术介绍
1、在加工碳化硅的工序中需要对碳化硅的表面进行抛光处理，而现有的申请号为：201620383539.4的：一种具有清洁装置的碳化硅抛光机，包括底座，所述底座的上侧面设有固定板以及由电机带动进行旋转的第一抛光平台和第二抛光平台，所述第一抛光平台的一侧设有垂直安装于底座的打磨装置，所述打磨装置包括位于第一抛光平台正上方的打磨棒；所述的固定板上设置有储液仓、储水箱和抛光装置，所述的抛光装置包括位于第二抛光平台正上方的抛光片，所述的储液仓、储水箱底端分别连通抛光液输送管一端、导水管一端，抛光液输送管另一端连接有位于第二抛光平台正上方的第一喷头，导水管另一端连接有位于第一抛光平台正上方的第二喷头和位于第二抛光平台正上方的第三喷头；所述的底座周围设有废液收集槽。
2、上述技术在使用时，虽然具备了可对片状或板状的碳化硅件进行抛光以及抛光后进行清洁的效果，但其并未设置可对碳化硅件进行夹持的部件，从而导致碳化硅件在加工过程中易移位，进而导致设备的抛光部件无法充分的对碳化硅...
【技术保护点】
1.一种具有清洁装置的碳化硅抛光机，包括机体(1)，其特征在于，所述机体(1)的中部滑动设有换位板(2)，换位板(2)两端的内部均设有碳化硅件放置口，换位板(2)两端的端部对应放置口通过螺杆(3)安装有夹持架(4)，机体(1)内部的上下两端对应换位板(2)的放置口均设有安装腔，安装腔内远离换位板(2)的一端均通过电缸(5)连接有安装壳(6)，安装壳(6)内部安装有第一电机(7)，第一电机(7)的输出端连接有连动杆(8)，连动杆(8)远离第一电机(7)的一端延伸至安装壳(6)外部并对应放置口安装有抛光垫(9)，安装腔内部靠近换位板(2)的一端分别安装有抛光液喷头(10)...
【技术特征摘要】
1.一种具有清洁装置的碳化硅抛光机，包括机体(1)，其特征在于，所述机体(1)的中部滑动设有换位板(2)，换位板(2)两端的内部均设有碳化硅件放置口，换位板(2)两端的端部对应放置口通过螺杆(3)安装有夹持架(4)，机体(1)内部的上下两端对应换位板(2)的放置口均设有安装腔，安装腔内远离换位板(2)的一端均通过电缸(5)连接有安装壳(6)，安装壳(6)内部安装有第一电机(7)，第一电机(7)的输出端连接有连动杆(8)，连动杆(8)远离第一电机(7)的一端延伸至安装壳(6)外部并对应放置口安装有抛光垫(9)，安装腔内部靠近换位板(2)的一端分别安装有抛光液喷头(10)与清洗液喷头(11)。
2.根据权利要求1所述的一种具有清洁装置的碳化硅抛光机，其特征在于，所述换位板(2)后侧表面的两端通过固定块共同安装有齿条(12)，机体(1)后侧表面安装有的配合第二电机(13)，第二电机(13)的输出端对应齿条(12)安装有相配合的主动轮(14)。
3.根据权利要求1所述的一种具有清洁装置的碳化硅抛光机，其特征在于，所述安装腔远离换位板(2)的一端均贯穿机体(1)并安装有安装板...
【专利技术属性】
技术研发人员：邵枫萍，
申请(专利权)人：无锡云岭半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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