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本发明实施例涉及一种蒸发沉积一体化真空炉及其应用。炉体包括固定半炉体和可移动半炉体，它们之间通过机械卡扣相连接；加热反应器设置于固定半炉体内，用于放置原料；反应冷却装置设置于炉体的炉壁内，用以对炉体的炉壁进行冷却降温；冷却收集器设置于可移动...
该专利属于溧阳天目先导电池材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过溧阳天目先导电池材料科技有限公司授权不得商用。

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