下载一种阻变存储器的制造方法及阻变存储器的技术资料

文档序号:41902842

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本发明公开了一种阻变存储器的制造方法及阻变存储器,该方法包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底内形成有下电极;在所述半导体衬底上,采用远程氧等离子反应溅射沉积金属氧化物,形成位于所述半导体衬底上的电阻转变层;在所述电阻转变层上形成上电极;图形...
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