温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本技术提供了一种定位片安装装置,涉及半导体制造技术领域,所述定位片安装装置,包括:安装环本体,所述安装环本体上设置有载料环定位柱、载料环固定结构和定位片定位结构;其中,所述载料环定位柱用于穿过载料环上的定位孔,将所述载料环安装于所述安装环本...该专利属于西安奕斯伟材料科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安奕斯伟材料科技股份有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本技术提供了一种定位片安装装置,涉及半导体制造技术领域,所述定位片安装装置,包括:安装环本体,所述安装环本体上设置有载料环定位柱、载料环固定结构和定位片定位结构;其中,所述载料环定位柱用于穿过载料环上的定位孔,将所述载料环安装于所述安装环本...