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本公开涉及一种用于确定波前斜率的方法,该方法包括:(a1)用光(2a,2b)对透射滤波器单元(4)进行第一次照射,光(2a,2b)与用于光(2a,2b)的透射滤波器单元(4)的主透射方向(4a*,4b*)之间具有第一角度(α);(a2)对透...该专利属于弗劳恩霍夫应用研究促进协会所有,仅供学习研究参考,未经过弗劳恩霍夫应用研究促进协会授权不得商用。
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本公开涉及一种用于确定波前斜率的方法,该方法包括:(a1)用光(2a,2b)对透射滤波器单元(4)进行第一次照射,光(2a,2b)与用于光(2a,2b)的透射滤波器单元(4)的主透射方向(4a*,4b*)之间具有第一角度(α);(a2)对透...