基于角度相关透射率确定光的波前斜率制造技术

技术编号：41883276 阅读：27 留言：0更新日期：2024-07-02 00:38

本公开涉及一种用于确定波前斜率的方法，该方法包括：(a1)用光(2a，2b)对透射滤波器单元(4)进行第一次照射，光(2a，2b)与用于光(2a，2b)的透射滤波器单元(4)的主透射方向(4a*，4b*)之间具有第一角度(α)；(a2)对透射通过透射滤波器单元(4)的光(2a'，2b')的第一强度I1进行第一次测量；(b1)用光(2a，2b)对透射滤波器单元(4)进行第二次照射，光(2a，2b)与用于光(2a，2b)的透射滤波器单元(1)的主透射方向(4a*，4b*)之间具有第二角度(‑α)；(b2)对透射通过透射滤波器单元(4)的光(2a'，2b')的第二强度I2进行第二次测量；其中，光(2a，2b)与主透射方向(4a*，4b*)之间的两个角度(α，‑α)位于共同的测量平面中，并且具有基本相同的角度值但具有不同的符号；该方法还包括：(c)根据第一强度I1和第二强度I2之间的差以及第一强度I1和第二强度I2之间的和，计算空间对比度K；以及(d)根据所计算的空间对比度K和在校准过程中确定的透射滤波器单元(4)的校准因子c，确定局部波前斜率S，以便提供改进的波前斜率的确定。

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【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

技术介绍

技术实现思路

【技术保护点】

1.一种用于确定波前斜率的方法，包括：

2.根据前述权利要求所述的方法，其特征在于，

3.根据前述权利要求所述的方法，其特征在于，

4.根据前述权利要求2或3中任一项所述的方法，其特征在于，

5.根据前述权利要求2至4中任一项所述的方法，其特征在于，

6.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，

7.根据前述权利要求2至6中任一项所述的方法，其特征在于，

8.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，

9.根据前述权利要求2至8中任一项所述的方法，其特征在于，

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【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】