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本申请公开了一种配置为夹持载体的夹持器模块以及包括该夹持器模块的衬底运输设备。夹持器模块包括：基板，具有在第一方向上的长度以及在基本上垂直于第一方向的第二方向上的宽度；驱动器，设置在基板上以产生驱动动力；夹持器运输器，设置在基板上以便连接到...
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