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本公开提供了一种制造基座的方法。该方法包括：制备分别包括气体通道的静电卡盘(ESC)和底板；制备设置在ESC中的气体通道与底板中的气体通道之间的衬套‑过滤器组件；以及将ESC以这样的方式联接到底板，即，衬套‑过滤器组件的一部分容纳在形成于E...
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