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文档序号:41882068

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本公开提供了一种掩模,其包括:掩模框架,具有开口;开口掩模,设置在掩模框架上,开口掩模具有第一开口,在平面图中观察的情况下,第一开口设置在开口中;以及单元掩模,设置在开口掩模上并且具有第二开口,第二开口小于第一开口。...
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