下载半导体变容器的布局图案及其形成方法的技术资料

文档序号:41881775

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本发明提供一种半导体变容器的布局图案及其形成方法,其中该半导体变容器的布局图案包含多个变容器单元排列于一基底上,其中每一个变容器单元包含:多根鳍状结构,该多根鳍状结构彼此相互平行排列,多个栅极结构彼此相互平行排列,位于该基底上并且跨越该多根...
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