下载真空三极管、电子器件及电子设备的技术资料

文档序号:41879666

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本申请提供一种真空三极管、电子器件及电子设备,提供一种采用表面隧穿电子源(即发射体)的片上微型真空三极管。该真空三极管包括衬底以及设置在衬底上的第一驱动电极、第二驱动电极、第一绝缘层、栅极。第一驱动电极与第二驱动电极分布在衬底上、且第一驱动...
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