下载一种压力传感器芯体及其制备方法和应用的技术资料

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本发明提供一种压力传感器芯体及其制备方法和应用。制备方法包括:制作基体,然后在基体上镀一层绝缘层薄膜。在绝缘层薄膜对应非应变区设置第一掩膜版,并在绝缘层薄膜对应应变区镀第一金属薄膜层。再在绝缘层薄膜对应应变区和PCBA设置区覆盖第二掩膜版,...
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