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本发明提供了一种化学机械抛光液，包括水、氧化物研磨颗粒、催化剂、稳定剂、氧化剂和pH调节剂，其中，所述氧化物研磨颗粒表面由有机官能团修饰。本发明中的化学机械抛光液，通过在研磨颗粒表面修饰官能团，能够在不影响抛光液对钨等材料的抛光速率的前提下...
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