下载用于真空镀膜腔的真空摆阀及其工作方法的技术资料

文档序号:41877600

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本发明提供了一种用于真空镀膜腔的真空摆阀及其工作方法,其中,用于真空镀膜腔的真空摆阀包括:阀体、阀板、驱动机构以及转动式支撑组件;所述阀板转动设置在所述阀体的内腔中上;所述驱动机构适于驱动所述阀板将所述阀体的内腔中的阀口打开或关闭;所述转动...
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