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本发明提供一种用于供应源的设备和一种具有所述设备的用于沉积薄膜的设备。所述用于供应源的设备包含：水平通道，其在一个方向上延伸；抽吸口和转移口，其延伸穿过所述水平通道，所述抽吸口和转移口彼此间隔开；转移轴，其插入所述水平通道内以在其中往复运动...
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