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本发明提供了一种立体氮化镓基高集成HEMT及其制备方法，通过在立体衬底上集成多个HEMT器件，并通过互联介质层内的互联金属实现各器件之间的互联，制备出了高集成的氮化镓基HEMT器件，是HEMT具有更高的功率以及更低的功耗。相关技术中通常在平...
该专利属于深圳大学所有，仅供学习研究参考，未经过深圳大学授权不得商用。

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