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SiC涂层石墨基座的制备装置及制备方法制造方法及图纸
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文档序号:41874543
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本发明公开一种SiC涂层石墨基座的制备装置及制备方法,制备装置包括炉体、坩埚组件、压具和加热体,炉体侧壁限定出测温通道;坩埚组件包括环形坩埚、上石墨板和下石墨板,上石墨板和下石墨板卡装在环形坩埚内侧的顶部和底部;环形坩埚侧壁限定出测温孔,测...
该专利属于中国矿业大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国矿业大学授权不得商用。
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