下载一种实现工件全表面无痕镀覆的物理气相沉积工艺方法的技术资料

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本发明涉及工件镀覆技术领域,具体涉及一种实现工件全表面无痕镀覆的物理气相沉积工艺方法。包括,步骤S1,对一工件进行清洗,然后充分干燥;步骤S2,采用一内圆工装夹入工件的内孔或采用一外圆工装套设于工件的外表面;步骤S3,对工件受到内圆工装或外...
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