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本发明公开了一种分栅快闪存储器，L型擦除栅的第一竖直部分自对准形成于第一开口的侧面，第二横向部分的侧面由形成于第一竖直部分的第二侧面的第一侧墙的第二侧面自对准定义；浮栅位于第二横向部分的底部，浮栅的第二侧面由形成于浮栅侧面的第二侧墙的第二侧...
该专利属于华虹半导体（无锡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华虹半导体（无锡）有限公司授权不得商用。

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