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本发明公开了一种高损伤阈值激光反射镜低应力薄膜制备的工艺方法，基于离子源辅助电子束蒸镀工艺，在真空室底部配置两套电子束蒸发源和两套位置可移动的霍尔型离子源，在光学元件上交替镀Ta2O5膜层和SiO2膜层，Ta2O5膜层和SiO2膜层逐层沉积...
该专利属于中国科学院南京天文光学技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院南京天文光学技术研究所授权不得商用。

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