下载膜层中的缝隙的检测方法的技术资料

文档序号:41869930

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本发明提供一种膜层中的缝隙的检测方法。对第一晶片中的膜层进行:(a)进行扫描,以得到灰阶影像图;(b)对灰阶影像图进行区域定位处理,以界定出多个目标区以及位于每一个目标区中的缝隙区;(c)取得每一个缝隙区中的每一个像素的灰阶值,并计算缝隙区...
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