专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
德克萨斯仪器股份有限公司
>
探测器卡盘热调节制造技术
>技术资料下载
下载探测器卡盘热调节的技术资料
文档序号:41869912
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本申请涉及探测器卡盘热调节。一个示例包括测试装置。测试装置(100)包括卡盘(104),该卡盘(104)具有被配置为支撑半导体器件的支撑表面。导管(110)具有流体输入端、流体输出端和在流体输入端和流体输出端之间延伸的侧壁。流体输出端面向卡...
该专利属于德克萨斯仪器股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过德克萨斯仪器股份有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。