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本申请涉及探测器卡盘热调节。一个示例包括测试装置。测试装置(100)包括卡盘(104)，该卡盘(104)具有被配置为支撑半导体器件的支撑表面。导管(110)具有流体输入端、流体输出端和在流体输入端和流体输出端之间延伸的侧壁。流体输出端面向卡...
该专利属于德克萨斯仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过德克萨斯仪器股份有限公司授权不得商用。

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