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本发明提供一种基板处理装置、半导体装置的制造方法和存储介质，能够利用从灯加热器放射的光对基板有效地加热。基板处理装置具备：处理容器，其至少一部分由不透明石英构成；基板载置台，其设置在所述处理容器内或者与所述处理容器内连通的处理空间内；灯加热...
该专利属于株式会社国际电气所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社国际电气授权不得商用。

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