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描述了一种用于带电粒子束装置的透镜,该透镜具有透镜部件。该透镜包括:第一磁透镜,具有上极片和中间极片;第二磁透镜,具有中间极片和下极片;第一线圈,布置在第一磁透镜内,并且用于在上极片与中间极片之间提供第一磁场;第二线圈,布置在第二磁透镜内,...该专利属于ICT半导体集成电路测试有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过ICT半导体集成电路测试有限公司授权不得商用。
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