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本技术公开了一种半导体晶圆清洁装置，包括清洗箱、转动座、转盘、传动机构、电机一、转动槽、安装座、气缸、滑板、连接轴一、滚轮一、动力机构、电机二、防护罩、限位机构、限位座、挡板、梯形块、定位轴、曲柄、连接轴二、滚轮二、凹槽、活动机构、连接轴三...
该专利属于深圳尚达技术工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳尚达技术工程有限公司授权不得商用。

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