温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本技术公开门阀以及加载腔或卸载腔。所述门阀包括升降模块、导轨模块、阀板以及阀板框架,所述导轨模块竖直安装在阀口附近的腔体壁上,所述阀板框架围绕阀板固定并在升降模块的驱动下沿着导轨模块升降,所述导轨模块在对应阀板框架到达门阀打开的位置处开设有...该专利属于理想万里晖半导体设备(上海)股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过理想万里晖半导体设备(上海)股份有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本技术公开门阀以及加载腔或卸载腔。所述门阀包括升降模块、导轨模块、阀板以及阀板框架,所述导轨模块竖直安装在阀口附近的腔体壁上,所述阀板框架围绕阀板固定并在升降模块的驱动下沿着导轨模块升降,所述导轨模块在对应阀板框架到达门阀打开的位置处开设有...