门阀以及加载腔或卸载腔制造技术

本技术公开门阀以及加载腔或卸载腔。所述门阀包括升降模块、导轨模块、阀板以及阀板框架，所述导轨模块竖直安装在阀口附近的腔体壁上，所述阀板框架围绕阀板固定并在升降模块的驱动下沿着导轨模块升降，所述导轨模块在对应阀板框架到达门阀打开的位置处开设有第一销孔，与所述第一销孔相匹配的安全销穿过所述第一销孔到达能支撑所述阀板框架的支撑位，以在所述阀板意外落下时提供支撑；所述导轨模块临近第一销孔还设置有到位感应器，所述到位感应器在所述安全销到达所述支撑位后发送触发信号给所述升降模块，所述升降模块在接收到触发信号后停止升降所述阀板框架。本技术可以有效防止误操作，提高门阀的安全性，防止安全事故。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能电池制造领域，尤其涉及门阀以及加载腔或卸载腔。

技术介绍

1、薄膜/晶硅异质结太阳能电池(以下简称异质结太阳能电池，又可称hit或shj太阳能电池)属于第三代高效太阳能电池技术，它结合了第一代晶硅与第二代硅薄膜的优势，具有转换效率高、温度系数低等特点，特别是双面异质结太阳能电池转换效率可以达到26％以上，具有广阔的市场前景。

2、在异质结太阳能电池制造中，需要通过等离子增强化学气相沉积(plasmaenhanced chemical vapor deposition，pecvd)设备进行pecvd工艺，在硅片上沉积p型非晶硅、n型非晶硅以及本征i型非晶硅薄膜。pecvd设备会在其pecvd反应腔之前设置有加载(load lock in；lli)腔，在其之后设置有卸载(load lock out；llo)腔，承载有硅片的托盘或载板进入常压下的lli腔，然后对lli腔抽真空后，开启pecvd反应腔将托盘从lli腔传送至其中。完成pecvd工艺后，开启同样处于真空状态的llo腔将托盘从pecvd反应腔传送至llo腔中。lli腔和llo本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种门阀，包括升降模块、导轨模块、阀板以及阀板框架，所述导轨模块竖直安装在阀口附近的腔体壁上，所述阀板框架围绕阀板固定并在所述升降模块的驱动下沿着所述导轨模块升降，其特征在于，所述导轨模块在对应阀板框架到达门阀打开的位置处开设有第一销孔，与所述第一销孔相匹配的安全销穿过所述第一销孔到达能支撑所述阀板框架的支撑位，以在所述阀板意外落下时提供支撑；所述导轨模块临近第一销孔还设置有到位感应器，所述到位感应器在所述安全销到达所述支撑位后发送触发信号给所述升降模块，所述升降模块在接收到触发信号后停止升降所述阀板框架。

2.根据权利要求1所述的门阀，其特征在于，所述阀板框架包括相互固...

【技术特征摘要】

1.一种门阀，包括升降模块、导轨模块、阀板以及阀板框架，所述导轨模块竖直安装在阀口附近的腔体壁上，所述阀板框架围绕阀板固定并在所述升降模块的驱动下沿着所述导轨模块升降，其特征在于，所述导轨模块在对应阀板框架到达门阀打开的位置处开设有第一销孔，与所述第一销孔相匹配的安全销穿过所述第一销孔到达能支撑所述阀板框架的支撑位，以在所述阀板意外落下时提供支撑；所述导轨模块临近第一销孔还设置有到位感应器，所述到位感应器在所述安全销到达所述支撑位后发送触发信号给所述升降模块，所述升降模块在接收到触发信号后停止升降所述阀板框架。

2.根据权利要求1所述的门阀，其特征在于，所述阀板框架包括相互固定连接的横梁以及两根导向杆，所述阀板悬固在两根导向杆上，两根导向杆上均设置有与所述导轨模块的导轨槽相匹配的多个滚动件，所述阀板框架通过所述滚动件在所述导轨模块的导轨槽中的滚动而由所述升降模块驱动升降。

3.根据权利要求2所述的门阀，其特征在于，所述多个滚动件包括均为滚动轴承的第一滚动件以及第二滚动件，所述第一滚动件能沿着导轨槽的底面滚动，所述第二滚动件能沿着导轨槽的侧面滚动。

4.根据权利要求2所述的门阀，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐和平，
申请(专利权)人：理想万里晖半导体设备上海股份有限公司，
类型：新型
国别省市：