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本发明涉及高精度检测技术领域，具体的，本发明涉及一种激光光路调整方法及装置，包括以下步骤：调整位移台模块至初始状态，将被检测物置于位移台模块上，光源模块发射激光经被检测物反射后形成反射光，投射至反射光接收模块；旋转位移台模块，以使反射光在感...
该专利属于致真精密仪器（青岛）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过致真精密仪器（青岛）有限公司授权不得商用。

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