【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及高精度检测，具体的，本专利技术涉及一种激光光路调整方法及装置。
技术介绍
1、在现代精密制造和质量控制领域，磁光克尔检测设备因其能够对材料的磁性特性进行非接触、无损地检测而得到了广泛的应用。磁光克尔效应是一种基于材料磁化状态改变其偏振光旋转角度的物理现象，通过测量这种旋转角度的变化，可以推断出材料内部的磁域分布情况。然而，为了准确测量磁光克尔效应，必须确保检测光束精确地照射在被检测物上，并且反射光能够准确地被传感器接收。
2、在实际应用中，由于被检测物的更换、设备的微小移动或其它环境因素的影响，检测光及反射光的光路可能会发生偏移，导致无法对预设位置进行检测。此外，被检测物本身的物理特性，如厚度不均或表面倾斜，也可能影响光路及其稳定性。因此，为了保持磁光克尔检测设备的高精度和高稳定性，需要一种有效的光路校正方法，以确保检测光能够准确地照射在被检测物上，并使反射光能够被传感器准确接收。
3、现有的光路调整方法通常依赖于人工操作和经验判断，这不仅耗时耗力，而且难以达到高精度的调整要求。此外，由于传感器通常...
【技术保护点】
1.一种激光光路调整方法，用于对磁光克尔检测设备中被检测物反射的反射光光路进行校正，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述激光光路调整方法，其特征在于，所述位移台模块旋转步骤具体包括：
3.根据权利要求2所述激光光路调整方法，其特征在于，还包括关系图生成步骤：根据所述位移台模块的旋转角度及所述光信号强度，生成光信号强度与旋转角度关系图。
4.根据权利要求3所述激光光路调整方法，其特征在于，所述关系图生成步骤具体包括：
5.根据权利要求4所述激光光路调整方法，其特征在于，所述调整目标角度确定步骤具体包括：>
6.根据权利...
【技术特征摘要】
1.一种激光光路调整方法，用于对磁光克尔检测设备中被检测物反射的反射光光路进行校正，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述激光光路调整方法，其特征在于，所述位移台模块旋转步骤具体包括：
3.根据权利要求2所述激光光路调整方法，其特征在于，还包括关系图生成步骤：根据所述位移台模块的旋转角度及所述光信号强度，生成光信号强度与旋转角度关系图。
4.根据权利要求3所述激光光路调整方法，其特征在于，所述关系图生成步骤具体包括：
5.根据权利要求4所述激光光路调整方法，其特征在于，所述调整目标角度确定步骤具体包括：
6.根据权利要求5所述激光光路调整...
【专利技术属性】
技术研发人员：张学莹，王麟，李静涛，杜洪磊，史世伟，钱春宇，
申请(专利权)人：致真精密仪器青岛有限公司，
类型：发明
国别省市：
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