下载一种扩散装置及扩散系统的技术资料

文档序号:41853923

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本申请公开了一种扩散装置及扩散系统,扩散装置包括:炉管、隔热组件和排气管;炉管内设有扩散腔,炉管包括沿第一方向相对设置的炉口和炉尾;隔热组件设于扩散腔内并靠近炉口;隔热组件包括沿第一方向层叠排布的若干隔热板和至少一个隔热包;排气管从炉尾伸入...
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