一种扩散装置及扩散系统制造方法及图纸

本申请公开了一种扩散装置及扩散系统，扩散装置包括：炉管、隔热组件和排气管；炉管内设有扩散腔，炉管包括沿第一方向相对设置的炉口和炉尾；隔热组件设于扩散腔内并靠近炉口；隔热组件包括沿第一方向层叠排布的若干隔热板和至少一个隔热包；排气管从炉尾伸入扩散腔内并向炉口延伸，排气管靠近炉口的一端设有抽气口，抽气口与隔热组件间隙设置，沿第一方向抽气口到炉口的距离大于隔热组件到炉口的距离。通过设置隔热组件由隔热板和隔热包组成的复合结构，能够提升隔热组件的隔热性能，便于减小隔热组件的厚度，进而降低隔热组件对排气管排气的干扰，从而能够提升扩散腔内的气流分布均匀，减少工件出现工艺异常问题。

【技术实现步骤摘要】

本申请属于光伏，具体涉及一种扩散装置及扩散系统。

技术介绍

1、磷扩散是太阳能电池片生产制造过程中必不可少的一道工艺，通常采用扩散炉，将太阳能电池片置于扩散炉内，采用热扩散技术，以在太阳能电池片中制备pn结。

2、目前太阳能电池片的扩散工序主要分为lpcvd和磷扩散两道工序，主要的工艺步骤包括：将硅片放入石英舟中，将载有硅片的石英舟推送入扩散炉管内，向扩散炉内通入工艺气体，在预设温度下进行沉积及扩散。

3、然而，在现有的扩散炉内，当工艺气体通入炉管内后，会受到炉管所设置的隔热板的影响，使得工艺气体在炉管内的流动不均匀，进而造成硅片表面磷源沉积不均，导致扩散后的硅片的电致发光(electro luminescence，el)检测图像存在气流印。

技术实现思路

1、本申请旨在提供一种扩散装置及扩散系统，能够解决现有的扩散炉内的工艺气体受隔热板的干扰而导致流动不均匀，影响了硅片的工艺质量的问题。

2、为了解决上述技术问题，本申请是这样实现的：

3、第一方面，本申请实施本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种扩散装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的扩散装置，其特征在于，沿所述第一方向，所述排气管与所述隔热组件错开设置。

3.根据权利要求2所述的扩散装置，其特征在于，沿所述第一方向，所述抽气口到所述隔热组件的最小距离为L1 cm，满足：0＜L1≤45。

4.根据权利要求1所述的扩散装置，其特征在于，沿垂直于所述第一方向，所述排气管与所述隔热组件至少部分重叠；沿所述第一方向，所述隔热组件与所述排气管重叠部分的长度为D1，所述隔热组件的总长度为D2，满足：D1/D2≤0.4。

5.根据权利要求4所述的扩散装置，其特征在于，沿垂直...

【技术特征摘要】

1.一种扩散装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的扩散装置，其特征在于，沿所述第一方向，所述排气管与所述隔热组件错开设置。

3.根据权利要求2所述的扩散装置，其特征在于，沿所述第一方向，所述抽气口到所述隔热组件的最小距离为l1 cm，满足：0＜l1≤45。

4.根据权利要求1所述的扩散装置，其特征在于，沿垂直于所述第一方向，所述排气管与所述隔热组件至少部分重叠；沿所述第一方向，所述隔热组件与所述排气管重叠部分的长度为d1，所述隔热组件的总长度为d2，满足：d1/d2≤0.4。

5.根据权利要求4所述的扩散装置，其特征在于，沿垂直于所述第一方向，所述抽气口到所述隔热组件的最小距离为l2 cm，满足：0＜l2≤4。

6.根据权利要求1所述的扩散装置，其特征在于，所述隔热包包括本体和隔热材料层，所述本体内设有容置腔，所述隔热材料层填充于所述容置腔内。

7.根据权利要求6所述的扩散装置，其特征在于，所述本体上设有卡接部，所述炉管内设有桨臂，所述卡接部与所述桨臂卡接。

8.根据权利要求1所述的扩散装置，其特征在于，所述隔...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗茂盛，邵爱军，鹿海峰，王晓娟，武宝婷，
申请(专利权)人：隆基乐叶光伏科技西咸新区有限公司，
类型：新型
国别省市：