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本技术公开了一种用于半导体设备气路中的残胶捕集装置，包括罐体、冷却组件和捕集组件；所述冷却组件包括冷却芯、进水管和出水管，所述冷却芯位于所述罐体内部，用于将所述罐体内部分隔成冷却腔和气腔，所述进水管和出水管均与冷却腔连通；所述捕集组件包括过...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十八研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十八研究所授权不得商用。

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