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本发明公开了一种半导体器件中通孔或接触孔短路检测结构，在设置有规则排列的通孔或者接触孔的层间膜上面的金属层上设置两组相邻的金属连线，所述两组金属连线在正常状态下相互不导通，所述两组金属连线由其各自的通孔引出。本发明通过上述结构，能够方便的检...
该专利属于上海华虹ＮＥＣ电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华虹ＮＥＣ电子有限公司授权不得商用。

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