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本发明公开了一种顶层铜衬垫窗口的制造方法，包括：依次形成供衬垫窗口穿过的第一至三介质层。形成第四介质层。第一和第四介质层之间具有第二刻蚀选择比大于第一和第三介质层之间具有第一刻蚀选择比。形成光刻胶图形定义出衬垫窗口形成区域。进行第一次刻蚀并...
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