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一种OTP器件制造技术
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文档序号:4185136
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本发明公开了一种OTP器件,包括晶体管和电容,所述晶体管的栅极和所述电容的上极板相连,所述电容的中间介质为氮化硅。本发明可以降低在电容下极板的外加电压,也能改善结的击穿电压。...
该专利属于上海华虹NEC电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华虹NEC电子有限公司授权不得商用。
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