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本发明提供一种成膜装置，能够减少升华部的更换频度。升华部(50)使包含选自钨、钼及钽中的至少一种的母材(70)含有选自氧化镧、氧化铈、氧化钇及氧化钍中的至少一种的物质(71)。在升华部(50)中，对于母材(70)含有作为氧化物的物质(71)...
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