温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本公开涉及在衬底上形成包含过渡金属的膜的方法。本公开还涉及过渡金属层、包括含有过渡金属的层的结构和器件。在该方法中，通过循环沉积过程将过渡金属沉积在衬底上。该方法包括在反应器室中提供衬底并执行循环沉积过程。该循环沉积过程包括以下步骤：将过渡...
该专利属于ASMIP私人控股有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASMIP私人控股有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。