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本发明公开了一种CMOS图像传感器制造方法,其后段工艺中对感光二极管上方的介质层进行光刻、刻蚀,停止在阻挡层上,刻蚀掉感光二极管上方的阻挡层之上的介质层,然后淀积一金属层,刻蚀掉阻挡层表面以及介质层顶部表面淀积的所述金属层,再淀积钝化层。本...该专利属于上海华虹NEC电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华虹NEC电子有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种CMOS图像传感器制造方法,其后段工艺中对感光二极管上方的介质层进行光刻、刻蚀,停止在阻挡层上,刻蚀掉感光二极管上方的阻挡层之上的介质层,然后淀积一金属层,刻蚀掉阻挡层表面以及介质层顶部表面淀积的所述金属层,再淀积钝化层。本...