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本发明公开了一种判定非晶碳涂层耐蚀性的方法,采用小角X射线散射技术对非晶碳涂层内部孔隙缺陷进行表征,利用分析软件对散射数据进行分析,得到散射强度与散射矢量曲线,以散射强度和散射矢量关系作为评价指标,判定非晶碳涂层耐蚀性的优劣。本发明实现了纳...该专利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院宁波材料技术与工程研究所授权不得商用。
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本发明公开了一种判定非晶碳涂层耐蚀性的方法,采用小角X射线散射技术对非晶碳涂层内部孔隙缺陷进行表征,利用分析软件对散射数据进行分析,得到散射强度与散射矢量曲线,以散射强度和散射矢量关系作为评价指标,判定非晶碳涂层耐蚀性的优劣。本发明实现了纳...