温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种基板加工设备，该基板加工设备包括基板支承部，该基板支承部支承基板；流体供应部，该流体供应部布置在所述基板支承部的上方并配置为朝向所述基板供应引发剂和单体；以及激光产生部，该激光产生部配置为在与供应所述引发剂和所述单体的方向相交...
该专利属于细美事有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过细美事有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。