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本发明涉及晶圆检测技术领域，公开了一种视觉检测运动三轴平台，包括底座，所述底座上设有Y轴气浮导轨，且Y轴气浮导轨上设有X轴气浮导轨，所述底座上还安装有Z轴支架，且Z轴支架上设有Z轴气浮导轨；所述X轴滑块上设有限位翻转组件，用于对放置在X轴滑...
该专利属于深圳华中数控有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳华中数控有限公司授权不得商用。

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