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本申请提供一种成膜冷却装置及成膜设备，属于成膜技术领域。成膜冷却装置包括：冷却主体，具有容纳腔，冷却主体用于承载成膜基材，并且用于对附着于成膜基材上的材料进行冷却，成膜基材具有导电性；磁性部件，位于容纳腔内，磁性部件被构造为能够对成膜基材产...
该专利属于宁德时代新能源科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁德时代新能源科技股份有限公司授权不得商用。

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