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本申请涉及自动校准技术领域，公开了一种芯片测试机的自动校准方法及装置。所述方法包括：对芯片测试机进行初始化定位测量，得到线性轴的第一基础测量数据以及旋转轴的第二基础测量数据；对线性轴进行运动误差检测，得到第一运动误差数据并对旋转轴进行运动误...
该专利属于深圳市金东存储科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市金东存储科技有限公司授权不得商用。

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