【技术实现步骤摘要】
本申请涉及自动校准，尤其涉及一种芯片测试机的自动校准方法及装置。
技术介绍
1、芯片测试机的精准度直接关系到最终产品的品质和可靠性。随着技术的发展和市场对高性能电子产品的需求日益增长，芯片的设计和生产工艺变得越来越复杂，这就对测试设备的精度和稳定性提出了更高的要求。特别是在高频、高速以及微纳尺度的芯片测试过程中，任何微小的误差都可能导致测试结果的不准确，从而影响到整个批次产品的合格率和可靠性。因此，确保芯片测试机的高精度和稳定性成为了提高产品品质的关键因素。
2、然而，芯片测试机在长时间的运行过程中，由于机械磨损、环境温度变化、电气噪声等因素的影响，其线性轴和旋转轴等关键部件的精度会逐渐降低，导致测试结果的偏差。传统的校准方法通常需要人工干预，不仅效率低下，而且无法实时响应设备状态的变化，难以满足高精度、高稳定性的要求。
技术实现思路
1、本申请提供了一种芯片测试机的自动校准方法及装置，本申请提高了芯片测试机的自动校准准确率。
2、第一方面，本申请提供了一种芯片测试...
【技术保护点】
1.一种芯片测试机的自动校准方法，其特征在于，所述芯片测试机的自动校准方法包括：
2.根据权利要求1所述的芯片测试机的自动校准方法，其特征在于，所述对芯片测试机中的线性轴和旋转轴进行初始化定位测量，得到所述线性轴的第一基础测量数据以及所述旋转轴的第二基础测量数据，包括：
3.根据权利要求1所述的芯片测试机的自动校准方法，其特征在于，所述基于所述第一基础测量数据对所述线性轴进行运动误差检测，得到第一运动误差数据，并基于所述第二基础测量数据对所述旋转轴进行运动误差检测，得到第二运动误差数据，包括：
4.根据权利要求1所述的芯片测试机的自...
【技术特征摘要】
1.一种芯片测试机的自动校准方法，其特征在于，所述芯片测试机的自动校准方法包括：
2.根据权利要求1所述的芯片测试机的自动校准方法，其特征在于，所述对芯片测试机中的线性轴和旋转轴进行初始化定位测量，得到所述线性轴的第一基础测量数据以及所述旋转轴的第二基础测量数据，包括：
3.根据权利要求1所述的芯片测试机的自动校准方法，其特征在于，所述基于所述第一基础测量数据对所述线性轴进行运动误差检测，得到第一运动误差数据，并基于所述第二基础测量数据对所述旋转轴进行运动误差检测，得到第二运动误差数据，包括：
4.根据权利要求1所述的芯片测试机的自动校准方法，其特征在于，所述通过htg-net模型分别对所述第一运动误差数据和所述第二运动误差数据进行误差特征识别和提取，得到第一运动误差特征集和第二运动误差特征集，包括：
5.根据权利要求1所述的芯片测试机的自动校准方法，其特征在于，所述通过tit...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄辉，
申请(专利权)人：深圳市金东存储科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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