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本申请涉及体声波谐振器技术领域，具体提供了一种体声波谐振器及其制备方法，该谐振器包括：由下至上依次连接的衬底、支撑层、底电极、三明治结构压电层和顶电极；三明治结构压电层包括多层压电薄膜和若干层极性反转缓冲层，压电薄膜和极性反转缓冲层交替设置...
该专利属于河源市艾佛光通科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河源市艾佛光通科技有限公司授权不得商用。

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