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本发明提供一种太阳能电池钝化层结构及其制备方法、装置，所述方法包括：（1）提供一个ALD沉积腔室，ALD沉积腔室设有至少两个真空发生装置；（2）抽真空，加热至200~310℃，通入TMA，通入氮气吹扫，通入水蒸汽，通入氮气吹扫，以此循环1~...
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